사업화 유망기술

멀티 웨이퍼 검사 장비를 위한 핵심모듈 설계 및 제어 기술

멀티 웨이퍼 검사 장비

본 기술은 멀티 웨이퍼 검사 장비를 위한 핵심모듈 설계 및 제어 기술이다.

보유기관 : 한국생산기술연구원       거래조건 : 협의 후 결정

기술개요

본 기술은 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 패턴이 모두 만들어진 칩들의 불량여부를 검사하는 핵심 장비

특허정보

특허명 특허번호 특허명세서
멀티 프로브 시스템 10-2049413
기판 검사 카트리지 및 이의 제조 방법 10-2014334
멀티 프로버용 척 조립체 및 채널 10-2164132

기술완성도

TRL01

기초 이론/
실험

  • 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
TRL02

실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립

  • 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL03

연구실 규모의
성능 검증

  • 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
  • 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
  • 모델링/설계기술 확보
TRL04

연구실 규모의
부품/시스템 성능평가

  • 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
  • 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL05

시제품 제작/
성능평가

  • 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
  • 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL06

Pilot 단계 시작품
성능 평가

  • 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
  • 시작품 성능평가
TRL07

Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가

  • 시작품의 신뢰성 평가
  • 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL08

시작품 인증/
표준화

  • 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
    - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL09

사업화

  • 본격적인 양산 및 사업화 단계

기술개요

- 멀티 프로빙 검사 장비는 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 패턴이 모두 만들어진 칩들의 불량여부를 검사하는 핵심 장비

- 반도체 웨이퍼 Probing(계측) 및 Burn-In test(검사) 시 한 대의 프로버에서 10~25개의 웨이퍼를 동시 검사함으로써 소요 시간을 단축시키는 검사 장비 핵심 모듈(카트리지, 얼라이너, 이송로봇, 멀티챔버, 고정밀 틸팅모듈, 저잡음척, 세라믹 압전소자 등)의 설계 및 제어 기술임

대표도면

[고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사시스템 개념도 및 카트리지]

기술의 우수성

- 다수개의 기판을 동시에 검사하여 검사 공정 시간 단축

- 여러 개 싱글 프로브 장치 대신 하나의 멀티 프로브 시스템을 사용한 제조 단가 감소

- 기판 검사 카트리지 제조 시 기존의 진공 결합 방식과 달리 기계적 결합 방식 사용

- 기판 검사 카트리지의 결합 부재 기계적 결합을 통해 기판, 척 부재, 프로브 카드의 견고한 결합

- 척 조립체의 프로브 카드 구조체 및 몸체부의 락킹 구조로 인하여 결합, 분리에 용이

기술의 차별성

- 다수의(평균 10대~25대) 통합형 반도체 프로버 기능을 한 대의 멀티형 반도체 프로버에서 구현되도록 멀티채널화

- 동시 검사 웨이퍼 처리량 증가를 통한 생산능력 및 공간 효율성 향상

- 접촉 정밀도 향상으로 인한 불량률 감소 및 고가의 부품 손상 방지효과

- 저잡음 계수 개선으로 검사 실패율 감소 및 기술 경쟁력 강화

활용분야

- 반도체 제조 (웨이퍼 프로버, 테스트 장비, 정밀 얼라이너 장비)
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